真空等離子清洗機常用泵的真空度和適用范圍的介紹！
文章導讀：真空泵是真空等離子清洗機必備的組件之一。沒有真空泵等離子清洗機腔體真空度無法達到處理要求。真空泵種類繁多，可能很多使用者不是特別清楚，對于真空泵的選型是設計工作需要解決的問題。了解了常用真空泵的真空度和適用范圍，可以有助于等離子清洗機進行真空泵的選型。
真空泵是真空等離子清洗機必備的組件之一。沒有真空泵等離子清洗機腔體真空度無法達到處理要求。真空泵種類繁多，可能很多使用者不是特別清楚，對于真空泵的選型是設計工作需要解決的問題。了解了常用真空泵的真空度和適用范圍，可以有助于等離子清洗機進行真空泵的選型。
1.液環(huán)泵是一種粗真空泵。液環(huán)泵中氣體壓縮是等溫的，所以可用于抽除易燃易爆的氣體，此外還可用于抽除含塵、含水的氣體。受工作液飽和蒸氣壓的限制，真空度低。用水做工作液，極限真空 2000 ～ 4000Pa ；用油作工作液，極限真空約130Pa。
2.旋片泵是一種油封式機械真空泵。它可直接從大氣壓起動抽氣 ；可單獨做低真空泵用，也可與其他高真空泵組合作為前級泵用；體積小、重量輕、噪音低，特別適合實驗室使用；該泵不可用來抽含氧過高的、有毒的易爆的或與泵油發(fā)生化學作用的或對黑色金屬有腐蝕作用的氣體。極限真空 ≤1.3Pa。
3.滑閥泵是一種油封式機械真空泵。常用在大型真空設備上，具有高真空、低噪音、少震動，壽命長，不易漏油的特點，可用于抽有較高溫度、有輕微粉塵和腐蝕性的氣體，特別是含少量水蒸氣的混合氣體。分為單級和雙級兩種型式。單級泵的極限壓力對小泵 ≤0.6Pa，對大泵 ≤1.3Pa（均關氣鎮(zhèn)），雙級泵的極限壓力 ≤0.06Pa（關氣鎮(zhèn)）。抽速大于150L/s 的滑閥泵多采用單級型式。
4.羅茨泵是一種變容真空泵。特點是啟動快，耗功少，運轉維護費用低，抽速大、效率高，對被抽氣體中含少量水蒸氣和灰塵不敏感，在100 ～ 1Pa 壓力范圍內有較大抽氣速率，能迅速排除突然放出的氣體，不需要油潤滑 ；轉速可高達3450 ～ 4100r/min；抽氣速率為30～ 10000L/s。極限真空：單級泵為6.5×102Pa，雙級泵為1×103Pa。
5.擴散泵是一種動量傳輸泵。特點是可獲得高真空，用于真空冶煉鍍膜、空間模擬實驗和對油污染不敏感的真空系統(tǒng)。極限真空為10-4～ 10-5Pa。
6.往復泵是一種變容真空泵，有干式和濕式之分。抽氣量范圍大，可達15 ～ 5 500L/s，抽氣效率不高。不適用抽除腐蝕性或含微小顆粒的氣體，如果被抽氣體中含顆粒，進口處必裝過濾器。單級泵極限真空約為400 ～ 103Pa，雙級泵極限真空約為1Pa。
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