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真空等離子清洗機上的干式真空泵為何比較耐造?

返回列表 來源:普樂斯 瀏覽: 發(fā)布日期:2019-07-11 10:07【
文章導(dǎo)讀:干式真空泵是無油干式機械真空泵的簡稱。干式真空泵是真空等離子清洗機上常見的真空泵之一,從業(yè)人員的認知中,干式真空泵更為可靠耐造,接下來普樂斯就為大家介紹一下干式真空泵及其特點。
什么是干式真空泵呢?干式真空泵是不用油、水或其它聚合物等流體充當工作介質(zhì)的一種真空泵。這樣一來會讓干式真空泵在潔凈度方面更好,防止了油污染,所以干式真空泵大多用在對潔凈度要求比較高的真空等離子清洗機上,比如說半導(dǎo)體領(lǐng)域、生物醫(yī)療領(lǐng)域以及航天航空領(lǐng)域等。在真空等離子清洗機上最常用的一種干式真空泵就是干式螺桿真空泵。
真空等離子清洗機的干式真空泵-普樂斯等離子清洗機
一、干式螺桿真空泵
干式螺桿真空泵是利用一對螺桿,在真空泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn),從而產(chǎn)生作用力來實現(xiàn)吸氣和排氣功能的真空泵。因為干式螺桿真空泵在工作時,相互之間無磨擦,運轉(zhuǎn)平穩(wěn),噪音低,所以在工作腔無需潤滑油。

二、干式螺桿真空泵的優(yōu)點
干式螺桿真空泵是一款性能優(yōu)秀的干式真空泵,具有許多比其他真空泵好的地方:
首先,干式螺桿真空泵的極限真空度很高,最高的極限真空可達到1-2Pa;
其次,干式螺桿真空泵性能穩(wěn)定,不易出現(xiàn)故障,噪音低,維護簡單;
此外,干式螺桿真空泵的工作腔內(nèi)和螺桿轉(zhuǎn)子表面均有防腐涂層,比較適應(yīng)惡劣的工作情況。
真空等離子清洗機干式螺桿真空泵-普樂斯等離子表面處理
以上就是真空等離子清洗機上干式真空泵常用的螺桿真空泵的工作原理和優(yōu)點,閱讀完以上內(nèi)容,你是不是找到了干式真空泵可靠耐造的根本原因呢?
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