當(dāng)前位置：普樂斯首頁 > 普樂斯資訊 > 普樂斯動(dòng)態(tài) >

晶圓光刻膠去除能用等離子清洗機(jī)嗎？該使用哪種設(shè)備？

來源：普樂斯瀏覽：次發(fā)布日期：2020-10-21 09:44【大中小】

文章導(dǎo)讀：在半導(dǎo)體行業(yè)中，晶圓清洗是一個(gè)必不可少的環(huán)節(jié)，其中晶圓殘留光刻膠的去除，就能夠用等離子清洗機(jī)進(jìn)行處理的。那么晶圓光刻膠去除所用的等離子清洗設(shè)備該用哪種呢？

在晶圓光刻膠去除的實(shí)際應(yīng)用中，基本都會(huì)采用感應(yīng)耦合式的真空低壓等離子清洗機(jī)，這種類型的等離子清洗機(jī)仿佛也逐漸成為半導(dǎo)體行業(yè)的專屬，那么這類等離子清洗設(shè)備的結(jié)構(gòu)和一般常見的等離子處理設(shè)備有什么不同的地方呢？

等離子清洗機(jī)感應(yīng)放電等離子體是通過將射頻功率加在一個(gè)非共振線圈上產(chǎn)生的。因此該種等離子清洗機(jī)的常見結(jié)構(gòu)主要有兩種，都適用在低長寬比的放電系統(tǒng)中。其中一種常見結(jié)構(gòu)是螺旋型結(jié)構(gòu)，采用的是圓筒螺旋狀線圈類型，如下圖所示。

另一種常見結(jié)構(gòu)是盤香型結(jié)構(gòu)，采用的是平面盤繞狀線圈類型如下圖所示。

此外，有一種較為特別的盤香型結(jié)構(gòu)是將盤繞狀線圈加入等離于體內(nèi)部的放電類型，其結(jié)構(gòu)如下圖所示。

感應(yīng)耦合式的等離子清洗設(shè)備具有較為特別的基本原理和特點(diǎn)，因此在設(shè)計(jì)過程中要對工藝和效率進(jìn)行把控，才能保證良好的等離子表面處理效果。在此簡單提一點(diǎn)，用于處理LCD液晶屏的等離子清洗機(jī)，就是使用的內(nèi)置盤繞狀線圈感應(yīng)生成等離子體。
普樂斯從2011年開始涉足半導(dǎo)體行業(yè)至今已有9年，專注研制等離子清洗機(jī)，等離子體清洗機(jī)，等離子清洗設(shè)備，常壓大氣和低壓真空型低溫等離子表面處理機(jī)，在光刻膠去除、打線即W/B前清洗和塑封即Molding前活化等工藝方面積累了較為豐富的等離子表面處理經(jīng)驗(yàn)，合作客戶接近20家，我們正努力成為半導(dǎo)體封裝領(lǐng)域的等離子表面處理工藝解決方案服務(wù)商。是行業(yè)內(nèi)值得信賴的等離子清洗機(jī)廠家。等離子表面處理過的樣品包括：硅晶圓、玻璃基板、陶瓷基板、IC載板、銅引線框架等。如果您想要了解更多關(guān)于產(chǎn)品的詳細(xì)內(nèi)容或在設(shè)備使用中有疑問，歡迎點(diǎn)擊普樂斯的在線客服進(jìn)行咨詢，或者直接撥打全國統(tǒng)一服務(wù)熱線400-816-9009，普樂斯恭候您的來電！

下一篇：霜降以至，保暖不可少，普樂斯等離子清洗機(jī) 上一篇：提升PTFE薄膜粘接力，這兩種方法與等離子清洗機(jī)處理有何差別？

“推薦閱讀”

【本文標(biāo)簽】：等離子清洗設(shè)備等離子清洗機(jī)晶圓光刻膠去除
【責(zé)任編輯】：普樂斯電子版權(quán)所有：https://www.www.wintoog.com.cn轉(zhuǎn)載請注明出處

普樂斯推薦

流水線式介質(zhì)阻擋等離子體清洗機(jī) PLAUX-AP-PM1000

產(chǎn)品名稱：流水線式介質(zhì)阻擋等離子體清洗機(jī) PLAUX-AP-PM1000

流水線式等離子清洗機(jī)是專為工業(yè)生產(chǎn)線設(shè)計(jì)的連續(xù)化、自動(dòng)化等離子表面處理設(shè)備，也常被稱為在線式/通過式等離子清洗機(jī)，核心特點(diǎn)是能無縫嵌入產(chǎn)線的物料輸送環(huán)節(jié)，實(shí)現(xiàn)工件 “進(jìn)料 - 處理 - 出料” 的全自動(dòng)化連續(xù)作業(yè)，無需人工中轉(zhuǎn)，是汽車、電子、包裝等規(guī)?；圃祛I(lǐng)域的主流選擇。
連線式射流等離子體清洗機(jī)

產(chǎn)品名稱：連線式射流等離子體清洗機(jī)
連線式射流等離子體清洗機(jī)集合了20架大氣等離子清洗機(jī)，進(jìn)行多功能控制，解決多臺(tái)干擾問題，為流水線提供綜合性的控制解決方案。
寬幅等離子清洗機(jī) PG-110LN

產(chǎn)品名稱：寬幅等離子清洗機(jī) PG-110LN

寬幅等離子清洗機(jī)的“寬幅”特性（處理寬度可達(dá)1米以上）使其特別適用于大面積材料的均勻處理。
桌面型等離子清洗機(jī) AP-PR/M-3L

產(chǎn)品名稱：桌面型等離子清洗機(jī) AP-PR/M-3L
實(shí)驗(yàn)型小型真空等離子清洗機(jī)是一種小型便攜式的等離子清洗設(shè)備，主要由金屬外殼、真空處理室、真空泵、PLC控制系統(tǒng)等模塊組成，主要解決實(shí)驗(yàn)室、科研機(jī)構(gòu)的等離子表面處理以及實(shí)驗(yàn)的需求。
工業(yè)等離子清洗機(jī) 真空等離子清洗機(jī) PLS-200L

產(chǎn)品名稱：工業(yè)等離子清洗機(jī) 真空等離子清洗機(jī) PLS-200L