真空等離子表面清洗機的濺射現(xiàn)象會對產(chǎn)品有什么影響？
文章導讀：當使用容性耦合放電的真空低壓等離子表面清洗機對材料進行等離子表面處理時，只要選用的氣體是惰性氣體，就會發(fā)生一定的濺射現(xiàn)象，這與直流輝光放電還是交流高頻放電其實并沒有關系，那么濺射現(xiàn)象對等離子清洗機所處理的產(chǎn)品會有影響嗎？
當使用容性耦合放電的真空低壓等離子表面清洗機對材料進行等離子表面處理時，只要選用的氣體是惰性氣體，就會發(fā)生一定的濺射現(xiàn)象，這與直流輝光放電還是交流高頻放電其實并沒有關系，那么濺射現(xiàn)象對等離子清洗機所處理的產(chǎn)品會有影響嗎？
真空等離子表面處理機所產(chǎn)生的濺射現(xiàn)象一般較為微弱，而微弱的濺射現(xiàn)象對普通的產(chǎn)品或材料而言，并不會對材料的基體特性產(chǎn)生影響，但如果所處理的產(chǎn)品對處理要求較為嚴格，如醫(yī)用相關產(chǎn)品，就會對濺射現(xiàn)象的程度有所要求，一般為濺射越少越微弱是越好的。
我們接著從真空低壓等離子清洗機的電極結構來先了解一下濺射，容性耦合的射頻真空等離子表面處理設備，基本都會使用鋁合金作為電極，這是主要是考慮到鋁自身良好的散熱性能和對等離子體的耐候性，而即便是鋁，在長期的等離子轟擊下，電極表面仍會有鋁原子逃逸出來。
也正因為射頻濺射會將金屬粒子轟擊出來，而被轟擊出來的這部分金屬粒子可能會附在產(chǎn)品的表面造成污染，進而影響產(chǎn)品，如醫(yī)用高分子材料表面附著金屬原子，會對人體造成安全隱患；半導體引線框架則會因為金屬的注入，而影響其打線的質量……
因此，為減少乃至避免射頻濺現(xiàn)象，那么就需要對低壓真空等離子清洗機的腔體結構、電極板冷卻、工藝參數(shù)等方面進行調整和優(yōu)化，關于這部分的內容，我們之后再進行探討。下圖為電極板帶水冷的射頻低壓真空低壓等離子清洗機放電狀態(tài)。
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