真空（低壓）等離子體放電狀態(tài)美圖秀
文章導(dǎo)讀：真空等離子體，又稱低氣壓等離子體，是指在低氣壓（1.33Pa~1.33kPa）、低質(zhì)量流量條件下，由低頻（40KHz）、高頻（13.56MHz）、微波（2.45GHz）等激發(fā)的輝光放電產(chǎn)生的。普樂斯整理了一些，僅供參考：
1、不同電極結(jié)構(gòu)的放電
2、不同工藝氣體的放電（水平電極、低頻40KHz）
真空等離子體在低壓環(huán)境下，激發(fā)頻率、壓力、氣體、電極結(jié)構(gòu)等不同，放電的顏色和狀態(tài)都會(huì)有區(qū)別。您有什么異議或更好的圖片嗎？歡迎大家留言與我們交流和分享。
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2、不同工藝氣體的放電（水平電極、低頻40KHz）
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| 氮?dú)釴2 | 氫氣H2 |
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| 四氟化碳CF4 | 氧氣O2 |
真空等離子體在低壓環(huán)境下，激發(fā)頻率、壓力、氣體、電極結(jié)構(gòu)等不同，放電的顏色和狀態(tài)都會(huì)有區(qū)別。您有什么異議或更好的圖片嗎？歡迎大家留言與我們交流和分享。
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