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等離子清洗機(jī)的激發(fā)頻率不同,會有何不同?

返回列表 來源:普樂斯 瀏覽: 發(fā)布日期:2020-04-08 11:11【
文章導(dǎo)讀:說到等離子清洗機(jī)的激發(fā)頻率,通常有三種不一樣的類型,按激發(fā)頻率的大小區(qū)分分別是40KHz、13.56MHz、2.45GHz,也就是我們常說的中頻等離子清洗機(jī)、射頻等離子清洗機(jī)和微波等離子清洗機(jī),激發(fā)頻率不同,主要是由于配置的電源發(fā)生頻率的差異引起的。那么等離子清洗機(jī)的激發(fā)頻率不同,究竟會有哪些不同呢?
說到等離子清洗機(jī)的激發(fā)頻率,通常有三種不一樣的類型,按激發(fā)頻率的大小區(qū)分分別是40KHz、13.56MHz、2.45GHz,也就是我們常說的中頻等離子清洗機(jī)、射頻等離子清洗機(jī)和微波等離子清洗機(jī),激發(fā)頻率不同,主要是由于配置的電源發(fā)生頻率的差異引起的。那么等離子清洗機(jī)的激發(fā)頻率不同,究竟會有哪些不同呢?接下來我們接著來看。
等離子清洗機(jī)的激發(fā)頻率不同,會有何不同?-等離子清洗機(jī)外觀
首先談?wù)勚蓄l等離子清洗機(jī)的放電,由于中頻電源直接輸出到電極板的電壓較高,其自偏壓較高,產(chǎn)生的負(fù)自偏壓引起了正離子的功率吸收,這也會直接引起電極板的溫度升高;同時由于在這過程中,離子會吸收部分的功率,因此用于電離的電子的功率吸收就與相應(yīng)的減少了,從而造成等離子體密度的較低和離子的能量較高,工藝處理溫度也會稍高。
 
與中頻等離子體清洗機(jī)不同的是,射頻等離子清洗機(jī)在射頻容性耦合方式的放電過程中,電極板產(chǎn)生的自偏壓受到放電氣壓的影響,自偏壓較小,電子的功率吸收主要來自于與電極板表面的振蕩鞘層相互作用。因此,射頻等離子清洗設(shè)備的激發(fā)頻率越高,電子的功率吸收也會相對越高,相應(yīng)的離子轟擊的能量就會降低。
等離子清洗機(jī)的激發(fā)頻率不同,會有何不同?-等離子清洗機(jī)電極板
而說到微波等離子清洗機(jī)放電,這種清洗沒有自偏壓,離子濃度高,離子能量低,主要有兩種方式,即表面波型和電子回旋共振型,前者一般用于商業(yè)清洗,是通過輻射微波電磁場直接將氣體擊穿實現(xiàn)放電,其中并沒有離子的加速作用,其電子密度較高,但通常要求放電氣壓高,從而會引起等離子體局域化比較嚴(yán)重的情況,不利于縱深清洗和多層面的大尺度的清洗處理,此外,微波等離子清洗機(jī)也不適合對一些精密的電子元器件進(jìn)行處理。
 
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