等離子體處理指示卡 等離子清洗機(jī)處理測試 等離子處理效果測試
等離子體處理指示卡是指使用了根據(jù)等離子體中的活性種(自由基、離子)變色的功能性色料的評價工具。根據(jù)等離子體的強(qiáng)度會產(chǎn)生不同的顏色變化,可以很直觀的對等離子體處理效果進(jìn)行細(xì)致的評價。
產(chǎn)品特點
A型主要適用與O?、N?、Air、CF4、NH3、Ar等自由基性等離子體的檢測,也適用于UV洗凈和臭氧洗凈??捎糜诮雍暇€、覆晶線等接合處的表面改性、部分封裝后底部填充前的洗凈和電鍍前表面改質(zhì)以及LSI、存儲器、MEMS、LED等電子設(shè)備對裝前的洗凈。
B型等離子體處理指示卡可用于大氣等離子表面處理的檢測,分為高敏度和低敏感度兩種。主要用于印刷電路板制造、FPD制造和膜加工等大面積處理。
C型變色部分為無機(jī)材料,基材為PI材質(zhì),背膠可承受200攝氏度高溫。具有柔軟性,可自由貼附于基板表面或等離子清洗機(jī)設(shè)備內(nèi)部。處理后會根據(jù)不同氣體顯示不同的顏色。
D型主要用于檢測均勻性,可提高面內(nèi)均一性檢測效率,對面內(nèi)差和層間差均可輕松檢測。
E型晶圓專用(提高良品率,開機(jī)前處理),我們正在研發(fā)中;
產(chǎn)品參數(shù)
| A型等離子體指示卡( O 2/Ar清洗用) | ||||||||
| 商品名 | 型號 | 敏感度 | 等離子體種類 | 耐熱溫度 | 產(chǎn)品尺寸 | 包裝量 | 包裝形式 | 有效日期 |
| 等離子處理指示卡(O2/Ar清洗用) | A1 | 高敏感 | Ar、O?、N?、Air、CF?、H?、NH?或其他工藝氣體 | ≦100℃ | 本體:20x70mm反應(yīng)區(qū):∮11mm | 50條/包 |
鋁箔袋 密封包裝 |
十二個月 |
| A2 | 中敏感 | |||||||
| A3 | 低敏感 | |||||||
| 備注:背附不干膠/可配置二維碼/可根據(jù)客戶需要調(diào)整敏感度 | ||||||||
工作原理
本產(chǎn)品的變色區(qū)印刷的色素與各種等離子體反應(yīng),根據(jù)處理時間、功率、工藝氣體種類和氣體流量等參數(shù)的不同會產(chǎn)生不同程度的顏色變化。
應(yīng)用領(lǐng)域
接合線、覆晶線等接合處的表面改性
部分封裝后底部填充前的清洗
電鍍前表面改質(zhì)
LSI、存儲器、MEMS、LED等電子設(shè)備對裝前的清洗
榮譽(yù)資質(zhì)
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